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技術(shù)文章

精密氣浮臺高低溫真空探針臺

精密氣浮臺高低溫真空探針臺，600x600x200mm氣震臺，減震效果達97%，真空高低溫探針臺，凹視觀察窗，高精度探針滑臺。
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小型氣敏探針臺

小型氣敏探針臺KT-Z4019MRL4T，4探針手動調(diào)節(jié)，純銀加熱臺，-196℃至350℃（溫控精確±0.5）
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360°等離子清洗機

360°等離子清洗機KT-G1DQX，采用石英玻璃管，法蘭密封，360°旋轉(zhuǎn)*清洗。
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等離子清洗機鄭州科探

等離子清洗機鄭州科探KT-S2DQX，采用觸摸屏控制，質(zhì)量流量計檢測精度±1.5%,真空壓力檢測精確到1Pa。
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桌面式磁控濺射儀

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD，外形小巧方便移動，觸摸屏控制工藝記憶儲存，自動電動擋板閥保護樣品，石英腔室更加潔凈方便清潔。
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真空小型蒸鍍儀

真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD，7寸觸摸屏控制，工藝記憶儲存方便下次使用，樣品臺旋轉(zhuǎn)0-8轉(zhuǎn)/分，自動電動擋板保護樣品，石英腔室潔凈好清洗。
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質(zhì)量流量計外置式氣體配比器

質(zhì)量流量計外置式氣體配比器KT-C4ZS，采用質(zhì)量流量計，316金屬管道，觸摸屏控制，5段可編程序（時間-流量隨意設置定值）
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外置質(zhì)量流量計氣體配比器

外置質(zhì)量流量計氣體配比器KT-C4ZS，配置7寸觸摸屏智能控制，5段可編程序（時間-流量隨意設置定值），數(shù)據(jù)儲存方便收集相同氣體，管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強。
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微型高低溫探針臺

微型高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測試。-196℃~400℃（配液氮致冷模塊）氣密腔室設計，可通保護氣氛
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真空探針臺

真空探針臺KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸...
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